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超高分解能電界放出走査電子顕微鏡SU 8600シリーズ
急速なデータ収集とデータ処理技術の発展に伴い、電子顕微鏡はデータの品質だけでなく、その収集過程を重視する時代に入った。SU 8600シリーズはRegulus 8200シリーズの高品質画像、大束流分析及び長時間安定運転の冷場イメージング技術を受け継ぎ、同時に高フラックス、自動データ取得能力を大幅に向上
製品の詳細
超高分解能電界放出走査電子顕微鏡SU 8600シリーズ
急速なデータ収集とデータ処理技術の発展に伴い、電子顕微鏡はデータの品質だけでなく、その収集過程を重視する時代に入った。SU 8600シリーズはRegulus 8200シリーズの高品質画像、大束流分析及び長時間安定運転の冷場イメージング技術を受け継ぎ、同時に高フラックス、自動データ取得能力を大幅に向上させた。
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- デバイス写真にはオプションが含まれています。
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特徴
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仕様
特徴
特徴
超高分解能イメージング
日立の高輝度電子源により、超低着陸電圧でも超高分解能の画像を得ることができる。
0.8 kV電圧条件下でRHO型ゼオライトの例を観察した。左図は粒子全体の形態、右図は拡大画像であり、粒子表面の微細な階段構造がはっきりと見える。低電圧観察は電子ビーム損傷の低減と表面形状情報の取得に有効である。
サンプル提供：日本工業技術総合研究所上村佳大氏
高コントラストの低加速電圧後方散乱画像
低加速電圧条件下では、後方散乱電子信号は酸化ケイ素層と窒化ケイ素層の裏打ち度の差を明らかに示すことができる。
3 D NAND断面観察（加速電圧：1.5 kV）
高速BSE画像：新型シンチレータ後方散乱電子検出器（OCD）*
新しいOCD検出器を使用したため、スキャン時間が1秒未満でもFin-FETの鮮明な深層構造画像を観察することができる。
5ナノメートルプロセスSRAMの内部構造観察（加速電圧：30 kV、走査時間＜1秒）
高度な自動化機能*
EM Flow Creatorにより、お客様は連続画像収集の自動ワークフローを作成できます。EM Flow Creatorは、倍率の設定、サンプル位置の移動、焦点距離と明暗コントラストの調整など、異なるSEM機能をグラフィカルなモジュールとして定義します。ユーザーは簡単なマウスドラッグにより、これらのモジュールを論理的な順序で作業プログラムを構成することができます。
柔軟なユーザーインタフェース
ネイティブはデュアルディスプレイをサポートし、柔軟で効率的な操作空間を提供します。6チャンネル同時に表示と保存し、高速な多信号観測と収集を実現する。
1、2、4、または6チャネル信号は、SEMの各検出器、およびサンプルルームカメラ、ナビゲーションカメラを含む切り替え可能なコンテンツを同じディスプレイ上に同時に表示することができる。
仕様
| モデル | SU 8600シリーズ | |
|---|---|---|
| 電子光学系 | 二次電子像分解能 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 拡大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
| 電子銃 | ||
| かそくでんあつ | 0.5 to 30 kV | |
| ちゃくりくでんあつ | 0.01 to 20 kV | |
| プローブ | （一部はオプション） | 上部検出器（UD） |
| UD ExBエネルギーフィルタ、SE/BSE信号混合機能を含む | ||
| 下検出器（LD） | ||
| トップ検出器（TD） | ||
| TDエネルギーフィルタ | ||
| 半導体後方散乱電子検出器（PD−BSED） | ||
| 新型シンチレータ型後方散乱電子検出器（OCD） | ||
| カソード蛍光検出器（CLD） | ||
| 走査透過検出器（STEM Detector） | ||
| 添付ファイル | （一部はオプション） | ナビゲーションカメラ、試料室カメラ、X線分光計（EDS）、後方散乱電子回折検出器（EBSD） |
| ソフトウェア | （一部はオプション） | EM Flow Creater、HD Capture（最大40960×30720ピクセル） |
| モータ駆動軸 | 5軸モータ駆動（X/Y/R/Z/T） | |
| モータ駆動軸 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| サンプル室 | サンプルサイズ | 最大直径：150 mm |
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- 減速モードで
- フォーカスイオンビームシステム（FIB/FIB-SEM）
- TEM/SEMサンプル前処理装置
オンライン照会
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連絡先
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会社
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